Un stylet à pointe de diamant est en contact avec la surface de l’échantillon. L’échantillon et le porte-échantillon se déplacent latéralement tandis que la pointe se déplace verticalement pour mesurer les variations verticales de < 1 nm à 1 mm.

La résolution des données latérales dépend de la taille de la sonde (rayon de la pointe), de la durée de l’analyse, de la longueur de l’analyse et de la force appliquée.

• Longueur de numérisation maximale 55 mm
• Rayon de pointe de 12,5 μm
• Force de stylet variable de 0,03 à 15 mg
• Répétabilité verticale = 4 Å par pas de 0,1 um.
• Plage verticale : 1 mm
• Épaisseur maximale de l’échantillon : 50 mm / diamètre maximal de l’échantillon : 8″

Limites

• La pointe de profilométrie touche l’échantillon
• L’échantillon peut être endommagé par la profilométrie
• Balayage à ligne unique